內容提要：
熱式質量流量計有幾種類型，一種是侵入式或浸入式，因為結構檢測元件伸入測量管內，故稱為此名；還有一些稱為插入式，是一種在使用過程中從管道外部插入工藝管道的儀器；還有一種是利用散熱效應和利用流動流體傳遞的熱量來改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應，稱為熱分布流量計。……
本文關鍵字：熱式質量流量計
熱式質量流量計有幾種類型，一種是侵入式或浸入式，因為結構檢測元件伸入測量管內，故稱為此名；還有一些稱為插入式，是一種在使用過程中從管道外部插入工藝管道的儀器；還有一種是利用散熱效應和利用流動流體傳遞的熱量來改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應，稱為熱分布流量計。
熱式質量流量計測量數據相對可靠。與導出的質量流量計相比，它需要流量傳感器，組成簡單，不需要溫度傳感器、壓力傳感器和計算單元，因此故障概率低。這個儀表還可以測量低流速氣體0.02~2m/s的微流量；而插入式TMF適合大管徑，浸沒式TMF適合測量低-中-高流速氣體。同時質量流量計沒有運動部件，熱分布儀表沒有分流管，因此沒有自由流動部件，壓力損失小；而帶分流管的浸入式儀表雖然測量管中有節流片，但壓力損失也小。
熱式質量流量計是一種利用傳熱原理，即流動流體與熱源之間的熱交換關系來測量流量的儀器。其中熱源就是流體中被加熱的物體或加在測量管上的發熱體，目前主要用于測量氣體。流量計用于雙原子氣體，如O2、H2、NO、N2、CO等氣體。可直接使用空氣校準儀器，不需要使用這些氣體進行校準。
